ウェーハハンドリング装置 CHI-02型
シリコンウェーハのP/N判定・外観検査を行うためにハンドリングする装置です。
ウェーハを真空吸着方式で取り扱います。
従来、作業者が手で行っていたウェーハのハンドリング作業を、この装置を使用することで、品質の向上を図ることができます。
・反転機能付きのツインアームロボットを使用することにより、効率よくウェーハの搬送が行えます。
・P/N判定は接触式にて行います。
・検査ステージでは
ウェーハの吸着
前後の傾斜(片側最大約45°)
360°回転
ユニット全体の揺動(片側最大約45°)
が可能です。
自動動作・パルスジェネレーターによる手動操作も可能です。
・FOSBステージは上下段それぞれ5ステージ、計10ステージあります。
タッチパネルでの設定により、
ロードステージを1~8ステージ
アンロードステージを1~8ステージ
の範囲で任意に設定することが可能です。