外観検査装置 ACI-02型 画像処理によりシリコンウェーハの表裏面傷を検出し、合否を判定する装置です。 ・オプションで各種キズ・カケなどの検出に対応します。 ・インライン化にも対応します。 この製品についてお問い合わせ 一覧から製品を探す