外観検査装置　 OSI-01型

φ8インチシリコンウェーハの外観目視検査を行う半自動装置です。

カセット内ウェーハを検査ステージへ自動搬送を行います。

作業者による、合否判定結果によりウェーハを挿入するカセットを選択し搬送を行います。

 

・JOYスティック操作によるウェーハ姿勢操作で目視検査が簡単に行えます。

・外観不良がある箇所をPC操作により簡単マップ入力と表示ができます。