厚さ測定機 ATM-01型 エッチング装置へ組込み、処理前後の厚み測定を行う装置で、エッチングレートの管理を行う為の測定機です。ウェーハ搬送はエッチング装置本体のロボットにて行います。装置はローダ側とアンローダ側に各1台ずつ設置します。 ・静電容量型のセンサーを使用し、非接触で多点の厚さ測定が可能です。 ・測定前にセンサは校正用ゲージを使用し、自動で校正を行います。 ・測定位置、測定点数はお客様のご要望に応じます。 この製品についてお問い合わせ 一覧から製品を探す