非接触式 直径測定器 DMC-02型 レーザ光にてウェーハ端面の検出を行い、校正用ウェーハ(基準ウェーハ)との比較により直径を測定する装置です。 ・非接触にてウェーハの直径を測定します。 ・ステージを回転する事で、A直径(3ポイント)・B直径を測定することが出来ます。 ・バーコードリーダにてLOT NO. 等の読込が出来ます。 ・測定値は、付属パソコンにExcel形式にて保存します。 この製品についてお問い合わせ 一覧から製品を探す