ウェーハ厚さ測定機 TME-07型

シリコンウェーハを専用カセットから取り出し、設定したポイントの厚さを計測する装置です。

・静電容量センサーにより非接触にて、ウェーハ厚さ測定を行います。

・レシピ設定によりウェーハサイズ変更が可能で、段取り替え作業は不要です。

・ウェーハ厚さは100μm～1800μmに対応します。（ウェーハサイズによります。）

・測定ポイントは中心1点、十字測定をレシピにて設定します。十字測定時のポイント数、位置の指定も可能です。

・測定したデータは、付属パソコンに保存します。