厚さ測定機 TME-13型

本機械は、φ4、5、6、8インチウェーハの厚さ測定する装置です。

厚さ測定は、レシピによる多点測定を行います。

測定センサは分光干渉方式のセンサを用いて片側より測定を行います。

 

・他社同等機能を持ちながら安価に提供できます。

   必要機器を絞り込み低コストでの提供も可能です。

・ベルヌーイ方式のハンドを用いて薄物ウェーハの搬送も可能です。

   搬送部はφ4インチ、5インチ、6インチ兼用ハンドとφ8インチ専用ハンドを搭載し、段取替え不要での運用が可能です。

・TME-07型からカセット搭載数、アライメント機構追加、搬送部追加により、低コストでパフォーマンスに優れた装置仕様となっております。