手動式 厚さ測定機 STM-05型

本機械は、φ100㎜～φ150㎜のSi、SiC等ウェーハの厚さ測定を、手動操作にて行う装置です。

厚さ測定は、高精度接触式デジタルセンサを用い、片側測定にて行います。 

 

・本装置により、作業者がマイクロメータ等で測定することにより生じるバラつきを防ぎ、高精度で安定した測定を行うことが可能になります。

・卓上式で簡単に設置できます。本体を机上、制御盤は床上設置のような使い方も可能です。

・装置の操作とデータ保存はパソコン上で行ないます。

　ウィンドウズ上で動作する使いやすいソフトウェアです。