手動式 厚さ測定機 STM-06型

本機械は、φ4"以下の各種素材ウェーハの厚さ測定を、手動操作にて行う装置です。

厚さ測定は、共焦点色収差センサを用い、片側測定にてブロックゲージまたは基準ウェーハとの差により、測定対象ウェーハの厚さ測定を行います。

 

・手動式のハンドルと目盛により、決められた位置の測定が可能となります。

・ウェーハを真空吸着によりステージ上に固定します。測定によるコスレキズ等を防ぎます。

・測定したデータは付属パソコンのEXCELファイルに保存されます。PC上では測定結果を見やすく表示します。