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測定器・加工機・専用機
自動化設備の製造販売
株式会社ジャステム

0258-47-2571

手動式ウェーハ厚さ測定機 STM-06型

手動式ウェーハ厚さ測定機 STM-06型
本機械は、φ4"以下の各種素材ウェーハの厚さ測定を、手動操作にて行う装置です。
厚さ測定は、共焦点色収差センサを用い、片側測定にてブロックゲージまたは基準ウェーハとの差により、測定対象ウェーハの厚さ測定を行います。
 
・手動式のハンドルと目盛により、決められた位置の測定が可能となります。
・ウェーハを真空吸着によりステージ上に固定します。測定によるコスレキズ等を防ぎます。
・測定したデータは付属パソコンのEXCELファイルに保存されます。PC上では測定結果を見やすく表示します。