本文へ

測定器・加工機・専用機
自動化設備の製造販売
株式会社ジャステム

0258-47-2571

【開発】φ450mmウェーハ厚さ測定機 FTM-02型

【開発】φ450mmウェーハ厚さ測定機 FTM-02型
本装置は大口径のシリコーンウェーハ測定機として開発した装置です。
 
・シリコンウェーハの厚さ測定を非接触にて行います。
・測定器はレーザ測長器を使用して厚さを測定します。
・厚さ測定データはPCに保存されます。
・測定データは以下の表示が可能です。
  1.多点測定表示
  2.断面厚さ測定表示
  3.厚さ測定マップ表示
・写真表示測定器は手動測定機を示しますが、カセット等に収納されたシリコンウェーハの自動測定も可能です。