【開発】φ450mmウェーハ厚さ測定機 FTM-02型

本装置は大口径のシリコーンウェーハ測定機として開発した装置です。

 

・シリコンウェーハの厚さ測定を非接触にて行います。

・測定器はレーザ測長器を使用して厚さを測定します。

・厚さ測定データはPCに保存されます。

・測定データは以下の表示が可能です。

　　1.多点測定表示

　　2.断面厚さ測定表示

　　3.厚さ測定マップ表示

・写真表示測定器は手動測定機を示しますが、カセット等に収納された

　シリコンウェーハの自動測定も可能です。