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測定器・加工機・専用機
自動化設備の製造販売
株式会社ジャステム

0258-47-2571

抵抗率測定機 RTSシリーズ

抵抗率測定機 RTSシリーズ 抵抗率測定機 RTSシリーズ
シリコンウェーハの厚さと抵抗の測定を行い、指定された抵抗率の区分または、抵抗率に厚さの含んだ区分に選別する装置です。
 
・カセットはローダ側12個アンローダ側15個設置可能です。
・搬送はローダ、アンローダの搬送はシングルアームロボットを使用し真空吸着方式で搬送します。
・測定データはパソコンに転送されます。