抵抗率測定機 RTSシリーズ シリコンウェーハの厚さと抵抗の測定を行い、指定された抵抗率の区分または、抵抗率に厚さの含んだ区分に選別する装置です。 ・カセットはローダ側12個アンローダ側15個設置可能です。 ・搬送はローダ、アンローダの搬送はシングルアームロボットを使用し真空吸着方式で搬送します。 ・測定データはパソコンに転送されます。 この製品についてお問い合わせ 一覧から製品を探す