外観検査装置 OSI-01型 φ8インチシリコンウェーハの外観目視検査を行う半自動装置です。 カセット内ウェーハを検査ステージへ自動搬送を行います。 作業者による、合否判定結果によりウェーハを挿入するカセットを選択し搬送を行います。 ・JOYスティック操作によるウェーハ姿勢操作で目視検査が簡単に行えます。 ・外観不良がある箇所をPC操作により簡単マップ入力と表示ができます。 この製品についてお問い合わせ 一覧から製品を探す