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測定器・加工機・専用機
自動化設備の製造販売
株式会社ジャステム

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ウェーハシュータ SWU-01型

ウェーハシュータ SWU-01型 ウェーハシュータ SWU-01型
加工の終了したφ300 mmウェーハを1枚ずつテフロンカセットへ収納し水没させるための装置です。
ウェーハは作業者により加工装置から吸着パッドでウェーハシュータ部へ置かれた後にステージの傾斜と純水の吐出を利用してテフロンカセットへ滑り込ませ収納します。
 
・ウェーハがテフロンカセット内へ収納されると、自動的に次のウェーハを収納できる位置まで下降します。
・テフロンカセットは4個セットできます。
・左右二列でカセット4個収納ですが、一列でカセット2個収納もあります。