SiCウェーハ厚さ測定機 TME-05型

ガラス板に貼り付けられたSiCウェーハの厚みと接着剤の厚み測定及び、SiCウェーハ単体の厚みを測定する装置です。

・厚さは、光学式プローブ/センサにて非接触測定します。

・ポーラスチャック式ウェーハステージを採用し、薄いウェーハを均一に保持します。

・測定データは、付属パソコンのモニタ表示の他、CSV形式で保存します。またグラフィカル表示も可能です。

・カメラによる外観撮像が可能です。(オプション）

・Siウェーハ（テープ付含む）の厚み測定も可能です。