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測定器・加工機・専用機
自動化設備の製造販売
株式会社ジャステム

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ウェーハ簡易洗浄機 WCM-01型

ウェーハ簡易洗浄機 WCM-01型 ウェーハ簡易洗浄機 WCM-01型
φ300 mmシリコンウェーハを簡易洗浄(ブラシ+水)する装置です。
 
・ウェーハのセットは作業者が行います。
・洗浄後はエアーナイフウェーハ表裏面の水滴を乾燥します。
・ウェーハはエッジクランプにて取扱い、表裏面には接触しません。