ウェーハ簡易洗浄機 WCM-01型

φ300 mmシリコンウェーハを簡易洗浄（ブラシ+水）する装置です。

 

・ウェーハのセットは作業者が行います。

・洗浄後はエアーナイフウェーハ表裏面の水滴を乾燥します。

・ウェーハはエッジクランプにて取扱い、表裏面には接触しません。