粉体処理装置 PPT-01型

シリコンウェーハ間に規定量のシリコン粉を挟み込み、熱処理用ボードに充填する装置です。

 

・カセットはウェーハ入りカセット、空カセットを各々最大60個収納可能です。

・データの入出力は付属パソコンにて行います。