ウェーハ移載機 WRMシリーズ

本機械は、LOADカセットからウェーハを取り出し、ウェーハ裏面または表面のウェーハIDを読取り、UNLOADカセットへ並べ替え収納する装置です。

倍ピッチカセット、通常ピッチカセットの処理が可能です。