ウェーハ移載機 WRMシリーズ 本機械は、LOAD側FOUP/FOSB/オープンカセットからウェーハを取り出し、UNLOAD側FOUP/FOSB/オープンカセットへ設定に従い収納する装置です。 この製品についてお問い合わせ 一覧から製品を探す