手動 一括移載機 WTI-02型

本機械は、φ6ウェハをカセットからカセットへ手動で一括移載する装置です。

ウェハをカセットに接触させず一括で持ち上げて移載します。

発塵が少なく製品への汚染を最小限に抑えることができ、

簡易的にウェハを移載したい、カセット内ワークの擦れを抑えたいといった

ご要望を叶えます。

 

 

・カセットの天地逆置きが可能で、表裏詰め替え機として使用もできます。

・操作ミスによるポカよけ機能も搭載しました。

・WTI-01型機能を踏襲し、装置サイズ等の改良を実現しました。

・同機能装置よりもコストパフォーマンスに優れております。

・ウェハサイズや仕様変更もご相談により可能です。