全自動UV照射装置 SUH-02型

自動でカセットより取出したφ8インチウェハに設定時間UV照射し、

その後同カセット及び同Slotにウェハ収納を行う装置です。

6枚毎に照射を行い、半日間無人化で運転可能です。

手作業の取り扱いによるウェハ破損を無くし、安定した工程ラインを実現できます。

 

 

・装置にカセットをセットすることにより収納している全てのウェハに

　UV照射が可能です。

・日常点検として、測定器によるUV強度点検や照射時間管理

　ランプ切れ機能警報機能も搭載しております。

・UVランプの交換も簡単に行える機構となっております。

・SUH-01型よりスペックアップを実現し、省人化に特化した装置です。

・他社同機能装置よりもコストパフォーマンスに優れております。