顕微鏡ローダー MWL-03型

本機械は、通常キャリア、倍ピッチキャリア、4倍ピッチキャリアに搭載された

φ8インチウェハのミクロ検査及びマクロ検査を行う装置です。

ミクロ検査では、顕微鏡の接眼レンズによる観察からディスプレイでの観察へ

切り替えが出来ます。マクロ検査では、ジョイスティックによりウェハ傾きを自在に

操作いただけます。

 

 

・オートフォーカス付き顕微鏡を搭載し、レシピ動作による多点観察が可能です。

・φ8インチウェハ　厚さ100μm～1000μm、そりが最大13mmまでの

　ウェハの搬送が可能です。

・オプションでHOST通信も可能です。

・ウェハサイズ等、仕様変更もご相談により可能です。

・MWL-02型よりスペックアップを実現した装置で

　他社同機能装置よりもコストパフォーマンスに優れております。