ボート移載機 PDT-01型

本装置は、Siウェーハをカセットから取り出し熱処理用石英ボートに

移載する"並べ作業"と、熱処理用石英ボートからカセットへ移載する

"移載作業"を行う装置です。

 

・オリフラ整列機構を設けており、カセット内でオリフラ方向を

　合わせることが出来ます。

・付属PCで炉No.、ボートNo.使用回数などの品質管理が可能です。

・移載枚数は最大75枚です。

・ワーク保持方式はエッジクランプ式です。