厚さ測定機 TME-18型

本機械は、φ6インチSiC及びSiウェハの厚さを測定する装置です。

ウェハ面内任意のポイントをレシピにより多点測定を行います。

 

・他社同等機能を持ちながら安価に提供が可能です。

・分光干渉センサーにより非接触にて測定します。

・カセット内の測定するウェハスロットは任意に選択可能です。

・現在の手動測定を自動化することによる、昨今の慢性的な人手不足の解消します。

・4M（人・機械・材料・方法）による品質保証のマイナス要因を排除します。