顕微鏡ローダー MWL-04型

本機械は、ウェハのマクロ検査及び、顕微鏡によるミクロ検査を行う装置です。

マクロ検査では、ジョイスティックによりウェハ傾きを自在に操作いただけます。

ミクロ検査では、顕微鏡の接眼レンズによる観察からディスプレイでの観察へ

切り替えが出来ます。

 

・顕微鏡へのウェハ移載を完全自動化。

・装置上でレシピ作成が可能です。

　又、ミクロ検査を行いながらレシピ作成と追加を行うことが出来ます。