厚さ測定機 TME-21型

ウェハ厚さ測定する装置です。

装置は手動オフライン・オンライン及び自動オンラインで稼働します。

 

・分光干渉センサーにより非接触にて、ウェハ厚さを測定します。

・ウェハ移載ロボットによる自動搬送で測定部への搬送、カセットへの収納します。