ウェーハインスペクション装置　 MWL-01型

ウェーハのマクロ検査及び、顕微鏡によるミクロ検査を行う装置です。

・マクロ検査は、外周チャックを採用し、ジョイスティックにてウェーハ傾き,水平回転操作を行うことにより、ウェーハ表裏面の検査が可能です。

・ミクロ検査では、レシピにて検査ポイント指定が可能です。

・ミクロ検査結果は、ファイルに保存します。

・顕微鏡搭載のカメラ画像をPCに保存できます。

・ウェーハのカセットからの取出し、各検査部への搬送、カセットへの収納はウェーハ移載ロボットによる自動搬送で行います。

・ウェーハ移載ロボットはベルヌーイ式ハンドを採用し、薄く、ソリのあるウェーハの搬送に対応します。

・FFU(PTFE仕様)搭載、オールステンレスフレーム採用により高クリーン環境に対応可能です。

・工場HOSTとの通信対応も可能です。