本文へ

測定器・加工機・専用機
自動化設備の製造販売
株式会社ジャステム

0258-47-2571

P/N判定、比抵抗測定仕分機 CJT-01型

P/N判定、比抵抗測定仕分機 CJT-01型
φ4”、5”、6”、8”インチSiウェーハの厚さ測定、表裏面P/N判定、比抵抗測定を行い、その結果によりあらかじめレシピにて設定したカセットに仕分けを行います。
 
・厚さ測定のみ、P/N判定のみ、比抵抗測定のみなど、レシピの設定次第で何通りもの仕分け動作を選択できます。
・測定したデータは付属パソコンのEXCELファイルに保存されます。保存のフォーマットは様々なご要望に応じることが可能です。