ウェーハ厚さ測定機 TMR-01型 シリコンウェーハを専用カセットからエッジハンドリングで取り出し、設定されたパターンの厚さ測定を行う装置です。 シリコンウェーハの外周3点を保持しθテーブルを回転させて、任意の場所の厚さを測定します。当社独自の「非接触アース」方式により、安全非接触での取り扱いが可能です。 バーコードリーダ及びレーザーマーク読み取り機能を装備し、読み取ったバーコードナンバー・二次元コードまたは文字をそれぞれExcelの指定セルに保存可能です。 この製品についてお問い合わせ 一覧から製品を探す