ウェーハ厚さ測定機

300mmまたは200mmシリコンウェーハをカセットから取り出し、

設定されたパターンの厚さを非接触で測定する装置です。

ウェーハ搬送および測定ステージ部でのウェーハのチャックは、

バキュームを使用し裏面をチャックします。