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測定器・加工機・専用機
自動化設備の製造販売
株式会社ジャステム

0258-47-2571

厚さ測定機 ATM-01型

厚さ測定機 ATM-01型 厚さ測定機 ATM-01型
エッチング装置へ組込み、処理前後の厚み測定を行う装置で、エッチングレートの管理を行う為の測定機です。ウェーハ搬送はエッチング装置本体のロボットにて行います。装置はローダ側とアンローダ側に各1台ずつ設置します。
 
・静電容量型のセンサーを使用し、非接触で多点の厚さ測定が可能です。
・測定前にセンサは校正用ゲージを使用し、自動で校正を行います。
・測定位置、測定点数はお客様のご要望に応じます。