半導体基板直径装置 DMC-03型

Green LED光にてウェハ端面の検出を行い、校正用ウェハ（基準ウェハ）との比較により直径を測定する装置です。

直径測定値(平均直径値等）を付属パソコンにエクセル形式で保存します。

 

・DMC-02型より測定可能なウェーハサイズが増えました。

  ※3"、4"、5"、6"に対応可能です。又、多点測定や不透明、半透明にも対応可能です。

・従来、ノギス等で測定するため発生していた、作業者による測定のばらつきを抑えることができます。

・平均直径値、最大直径値、最小直径値、相対標準偏差等も算出しエクセル形式での保存が可能です。