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測定器・加工機・専用機
自動化設備の製造販売
株式会社ジャステム

0258-47-2571

ウェーハ厚さ測定機(TMEシリーズ) TME-02A型/TME-02B型

ウェーハ厚さ測定機(TMEシリーズ) TME-02A型/TME-02B型 ウェーハ厚さ測定機(TMEシリーズ) TME-02A型/TME-02B型
シリコンウェーハを専用カセットからエッジハンドリングで取り出し、設定されたパターンの厚さ測定を行う装置です。
シリコンウェーハの外周3点を保持しθテーブルを回転させて、任意の場所の厚さを測定します。
当社独自の「非接触アース」方式により、安全非接触での取り扱いが可能です。
バーコードリーダを装備し、読み取ったバーコードナンバーをExcelの指定セルに保存可能です。
 
TME-03型
 
シリコンウェーハを専用カセットから取り出し、設定されたパターンの厚さ測定を行う装置です。
シリコンウェーハ搬送及び測定ステージ部でのチャックは、バキュームを使用し裏面をチャックします。