厚さ測定機 TME-15型

本機械は、φ4、5、6インチSiウェハの多点厚さを測る装置です。

PC画面上のウェハマップでレシピを作成します。任意のポイント測定と、

多点の平均測定及びスキャン測定を切り替えることが出来ます。

また、測定結果は印刷が可能です。

 

 

・搬送方法は水平多軸ロボットで行い、ワーク保持は外周吸着を行っています。

・アライメントは面内ターゲットマークを使用して、高精度位置決めを行っており

　測定中はカメラでリアルタイム観察も可能です。

・測定センサは分光干渉センサを用いて繰り返し測定精度は、

　±0.2μm以内です。（繰り返し30回測定　標準偏差=±0.2μm）

・測定結果の保存等、標準仕様として装備しています。

・弊社製作厚さ測定機　標準仕様装置です。